热式气体质量流量控制器 型号；DP-S48 32/HMT

编号

项目

S48 32/HMT

1

流量规格

(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min;

(1,2,3,5,10,20,30)L/min

2

调节阀类型

电磁调节阀

3

调节阀静止状态

常闭

4

安装方向

意

5

流量控制范围

2%-

6

流量测量范围

(0-100)%

7

零点温漂

0.6%F.S.(15~35℃)

8

响应时间 

2s(T98,设定值的±2%F.S.)

9

作环境温度

5~50℃

10

度保证温度

15~35℃

11

度

±1.0%F.S

12

线性

±0.5%F.S

13

重复度

±0.2%F.S

14

作压差范围

~5L/min:(0.05-0.3)MPa

10L/min~30L/min:(0.1-0.3)MPa

15

耐压

3MPa

16

漏率

1×10^-8Pa.m³/s(He)

17

管路接头

1/4″Swagelok,Φ6mm-Φ10mm

18

供电电源

±15VDC(±5%) ＋15V,100mA;－15V, 200mA

19

设定信号

(0-5)VDC 

输入阻抗>1MΩ

20

流量输出信号

(0-5)VDC

负载输出电流能力≤3mA

21

电气接头

D-SUB15

22

尺寸 (mm)

113（宽）×121（）×32（厚）