四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备，该仪器按照单晶硅物理测试方法家标准并参考美 A.S.T.M 标准而设计的，专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻（薄层电阻）的专用仪器。

 

　　目前，四探针测试仪由主机、测试台、四探针探头、计算机等分组成，测量数据既可由主机直接显示，亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析，然后以表格，图形方式统计分析显示测试结果。

 

　　本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、等院校对半导体材料的电阻性能测试。

　　四探针软件测试系统是个运行在计算机上拥有友好测试界面的用户程序，通过此测试程序辅助使用户简便地行各项测试及获得测试数据并对测试数据行统计分析。

　　测试程序控制四探针测试仪行测量并采集测试数据，把采集到的数据在计算机中加以分析，然后把测试数据以表格，图形直观地记录、显示出来。用户可对采集到的数据在电脑中保存或者打印以备日后参考和查看，还可以把采集到的数据输出到Excel中，让用户对数据行各种数据分析。

 

　　四探针测试仪的操作步骤：

　　1、松开笔身尾端侧面的固定小螺丝，轻轻脱下尾航空插口，保证探针头旋转时同步旋转，防止扭线断线，短接；

　　2、轻轻拧开探针头子，然后小心将铜片拉出，记住七片缘片与铜片之间的位置，将断针从铜片卡口座里取下即可；

　　3、特别注意定不能将铜片取下时的位置错乱，铜片位置按照航空头四芯1234接线绿红黄黑的顺序字排列，并且铜片之间按照宽窄顺序互相交叉排列，以免短接；

　　4、安装时铜片及缘片按照拆下时的排列轻轻塞探针头子，并将探针头子拧紧，再将尾航空头插上，并且旋紧小螺丝；

　　5、将针装好，注意针头针尾方向，尖头为探针头。